電気電子系 News
Au錘3軸MEMS加速度センサの高分解能化に関する研究
今回、電気電子系約140名の中から15名が、優れた修士論文発表を行いこの賞を受賞しました。受賞者にインタビューです。
MEMS(Microelectromechanical systems)加速度センサは、ゲーム機コントローラの振動検知やエアバックの衝撃検知等、広い用途で利用されています。本研究では、3軸MEMS加速度の小型化、高分解能化を目的とし、電極構造の検討を行いました。新たな応用分野として医療応用などが期待できます。小型、高分解能な加速度センサの実現により、MEMS加速度センサは医療応用など新たな分野への応用が可能であると考えています。
この度は優秀修士論文賞を頂き誠に嬉しく思います。ご指導していただいた先生方、一緒に研究してくださった研究室の学生の皆様に心から感謝致します。