山根大輔助教が平成28年度東工大挑戦的研究賞を受賞

現在、シリコン微細加工技術の発展により、チップサイズの小型加速度センサが広く普及しています。しかしながら、加速度センサの機械構造に由来する雑音は可動電極（錘）の質量に反比例するため、サイズと最小検出感度のトレードオフが生じ、特に1mG（=1×10^-3 G、G：地球の標準重力加速度）以下の微小加速度の検出が困難でした。そこで、私はこれまで、錘材料をシリコンから高密度の金属に置き換えることで、小型加速度センサの高感度化を推進して参りました。

今回の東工大挑戦的研究賞では、従来の小型加速度センサの未検出領域であった1μG（=1×10^-6 G）以下のナノG領域を検出可能な小型高感度慣性センサ（ナノG慣性センサ）の創出を新たに提案しました。本提案では金属結晶粒制御による機械強度の向上も行うことで、金属のマイクロ電気機械素子を有するナノG慣性センサの実現を目指します。

本提案センサが実現することで、正確な人体行動解析による医療診断・ヘルスケア、インフラ診断、ロボット精密制御、移動体の自動航行制御システム、宇宙環境計測など様々な応用技術を開拓できます。さらに近年、あらゆるヒトやモノに大量のセンサを配置する時代の到来が予想されており、その際、動作検知の最も基本となる小型慣性センサの高感度化は、様々な「動き」現象の利用・解明においてブレイクスルーとなるはずです。

従来成果例：Auマイクロ電気機械素子を用いた超高感度加速度センサ