沖野研究室の古谷淳之介さん(電気電子系 M2)がKyoto Terrsaで開催されたThe 17th International Conference on Electrostatic PrecipitationにおいてYoung Scientist Poster Awardを受賞
沖野研究室の古谷淳之介さん(電気電子系 M2)がKyoto Terrsaで開催されたThe 17th International Conference on Electrostatic PrecipitationにおいてYoung Scientist Poster Awardを受賞しました。
受賞概要
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賞の名称:
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Young Scientist Poster Award
- 著者氏名:
- 古谷淳之介
- タイトル:
- 349 mm linear type atmospheric remote plasma source for large area surface treatment
- 学会名:
- The 17th International Conference on Electrostatic Precipitation
- 受賞日:
- 2024年10月31日
沖野研究室では、様々な大気圧プラズマ装置を開発し、材料や医療分野に応用する研究を行っています。今回は、12インチのシリコンウェハを一方向の走査で処理できる349mm幅の大気圧低温プラズマ装置を開発しました。そして、装置の詳細および、排出される微粒子と表面親水化の測定結果を発表しました。
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