電気電子系 News
沖野研究室の古谷淳之介さん（電気電子系 M2）がKyoto Terrsaで開催されたThe 17th International Conference on Electrostatic PrecipitationにおいてYoung Scientist Poster Awardを受賞
沖野研究室の古谷淳之介さん（電気電子系 M2）がKyoto Terrsaで開催されたThe 17th International Conference on Electrostatic PrecipitationにおいてYoung Scientist Poster Awardを受賞しました。
受賞概要
- 賞の名称：
- Young Scientist Poster Award
- 著者氏名：
- 古谷淳之介
- タイトル：
- 349 mm linear type atmospheric remote plasma source for large area surface treatment
- 学会名：
- The 17th International Conference on Electrostatic Precipitation
- 受賞日：
- 2024年10月31日
- 受賞者のコメント
沖野研究室では、様々な大気圧プラズマ装置を開発し、材料や医療分野に応用する研究を行っています。今回は、12インチのシリコンウェハを一方向の走査で処理できる349mm幅の大気圧低温プラズマ装置を開発しました。そして、装置の詳細および、排出される微粒子と表面親水化の測定結果を発表しました。
関連リンク
- XVⅡICESP - Japan The 17th International Conference on Electrostatic Precipitation
- 古谷淳之介 研究業績一覧｜T2R2 東京科学大学 リサーチリポジトリ
- 未来産業技術研究所/電気電子系 沖野研究室
- Science Tokyo（東京科学大学） 総合研究院 未来産業技術研究所
- Science Tokyo（東京科学大学） 総合研究院
- 沖野研究室の太原誠也さん（電気電子系B4）と古谷淳之介さん（電気電子系M1）が電気学会東京支部カンファレンス学生研究発表会において優秀発表賞を受賞｜電気電子系News
- 沖野研究室の太原誠也さん（電気電子系B4）らがプラズマ分光分析研究会2023筑波セミナーにおいてThe Royal Society of Chemistry JAAS poster prizeなど4件を受賞｜電気電子系News
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