赤塚研究室の山下雄也さん(電気電子系 D1)が国際会議 75th Annual Gaseous Electronics ConferenceにおいてGEC Student-Poster Prizeを受賞

受賞概要

受賞者：

山下雄也（赤塚研究室 D1）

国際会議名：

The 75th Annual Gaseous Electronics Conference / 11th International Conference on Reactive Plasmas (GEC2022/ICRP11)

賞：

GEC Student-Poster Prizes (GEC 学生ポスター賞)

タイトル：

Position dependence diagnosis of electron temperature and density of inductively coupled argon plasma based on Abel inverted optical emission spectroscopic measurement and collisional-radiative model

受賞日：

2022年10月6日（木）

受賞者の声

研究に取り組む山下雄也さん

プラズマは、半導体加工など幅広い産業分野で利用されています。しかしながら、プラズマの状態を把握する診断技術は、未だ十分に確立されていません。これにより、基礎現象解明の障壁となっているのが現状です。そのため産業現場では、実験による試行錯誤に頼った、加工条件の設計が行われており工学上課題となっています。

赤塚研究室では、プラズマ診断、プラズマ分光学に関する研究に取り組んでいます。本研究では、エッチング装置で生成したアルゴンプラズマを計測対象とし、プラズマの発光スペクトルに基づいて、反応を支配するパラメータである電子温度や電子密度を診断する方法を考案しました。さらには、これまでほとんど検討されてこなかった、実加工装置における診断に関する諸問題を検討しました。

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