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杉原晶彦さん(小俣・石田研)が第37回「センサ・マイクロマシンとその応用」シンポジウムにおいて奨励賞を受賞
小俣・石田研究室の杉原晶彦さん（修士課程2年）が、2020年10月26日から28日にオンラインで開催された電気学会第37回「センサ・マイクロマシンとその応用」シンポジウムにおいて、奨励賞を受賞しました。
受賞者の杉原晶彦さん
- 受賞者のコメント
- タイトルは「液中ナノバイオ試料の電子顕微鏡観察のための超薄電子線透過膜を有するMEMS液体セルの開発」です。液中の細菌やウイルスを電子顕微鏡観察するために、膜厚10nmのSiN膜とマイクロ流路を接合したMEMS液体セルを高歩留まりで作製するプロセスを提案し、また作製したデバイスを用いて液中の細菌の電子顕微鏡観察を行いました。
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