材料系 News
超高密度で高速動作する不揮発性メモリー実現に道
東京工業大学 元素戦略研究センター(センター長 細野秀雄教授)の清水荘雄特任助教と物質理工学院兼同センターの舟窪浩教授、東北大学 金属材料研究所の今野豊彦教授と木口賢紀准教授、物質・材料研究機構 技術開発・共用部門 坂田修身ステーション長らの研究グループは、スマホやパソコンのトランジスタ(スイッチ)に使われている酸化ハフニウムを基本組成とした、強誘電体の電源を切った時に貯められる電気の量や、使用可能な温度範囲といった基礎特性を解明した。
結晶方位を制御した単結晶薄膜を電極上に作製することにより、これまで明らかになっていなかった特性の解明に成功した。その結果、酸化ハフニウム基の強誘電体が従来使用されてきた強誘電体に匹敵する特性を有することが明らかになった。強誘電体を用いたメモリーは、交通機関の定期券等に使用されている非接触式ICカード(電子マネー)として実用化されている。今回の成果によって明らかになった優れた特性と、これまでの物質では不可能であった薄膜化しても特性が劣化しない特性を活用すれば、メモリーの飛躍的な高密度化が期待できる。
今回の研究成果はネイチャー誌の姉妹誌である学術誌「サイエンティフィックレポート(Scientific Reports)」オンライン版に9月9日付で掲載された。
強誘電体は電源を切っても電圧をかけた方向によって2つの安定した状態が実現するため、電力を消費せずにデータが保存できるメモリーとして鉄道のICカードなどで広く使われている。しかし、その用途は特殊なものに限定されており、USBメモリーのような汎用性の高いメモリーとしては使われていなかった。用途が限定されている最大の理由は、これまでの強誘電体は薄くしていくと、特性が低下する“サイズ効果”があり、メモリーの高密度化が実現できないためである。5年前に、極微細なトランジスタ(スイッチ)の絶縁体として広く使われている酸化ハフニウム基の物質で、これまで不可能と考えられていた薄くても強誘電性が発現できることが報告され、大きな注目を集めた。しかし、これまで作製されてきた薄膜はさまざまな方位を向いた粒の集合体(多結晶)であり、不純物相も一緒に存在するため、酸化ハフニウム基強誘電体の基本的な性質はほとんど明らかになっておらず、実用化のための最大の問題であった。
東工大の清水特任助教らのグループは、強誘電体膜の組成を状態図から再度検討して最適化した酸化イットリウム(Y2O3)を置換した酸化ハフニウム(HfO2)を選択するとともに、薄膜を成長させる基材の結晶構造およびその格子の長さを工夫することで、15ナノメートル(nm、100万分の15ミリ)まで薄くても特性が劣化しない強誘電体単結晶膜の作製に成功した。さらに結晶構造が類似しているインジウム・スズの酸化物(ITO)の薄膜を電極として用い、酸化イットリウム結晶の方向を制御した単結晶膜を、電極上に作製することに成功した。
電極上に作製した、単結晶膜を用いることで、強誘電体相が400 ℃以上の高温まで安定に存在することを明らかにした(図1)。この結果から、広い温度範囲での使用が可能であることが分かった。
さらに薄膜の強誘電特性の取得に世界で初めて成功した(図2)。得られた結果と結晶方位の関係から、電圧を切った時に貯められる電気の量や使用可能な温度を明らかにした(図3)。その結果、従来から使用されている物質チタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zr,Ti)O3)やタンタル酸ストロンチウムビスマス(SrBi2Ta2O9)と比較して遜色ない特性を有することが明らかになった。
今回の研究成果は、以下のような波及効果が期待される。
強誘電体メモリーはUSBメモリーのように電源を切ってもデータが保存でき、USBメモリーより高速で動作できることから“夢のメモリー”としてICカードなどで実用化されている。しかし多くの情報を入力して管理することを可能にする大容量のメモリーは現在までできていない。今回の研究成果で、酸化ハフニウム基強誘電体を用いて、電源を切ってもデータが保持でき、高速動作できる“夢のメモリー”の高密度化の実現が期待できる。
強誘電体はこれまで薄くすると特性が劣化する“サイズ効果”によって、薄膜を用いたデバイスが非常に困難であった。しかし極薄膜で結晶方位の揃った強誘電体単結晶膜が得られたことで、以下のデバイスの実現が期待できる。
用語説明
[用語1] ReRAM(抵抗変化型メモリー、Resistance Random Access Memory) : 電圧の印加による電気抵抗の変化を利用した半導体メモリー。低消費電力、高密度化が可能で、読み出し速度が速いのが特徴。現在、多くの方式、多くの物質が検討されており、実用化も始まっている。
論文情報
掲載誌 : | Scientific Reports |
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論文タイトル : | The demonstration of significant ferroelectricity in epitaxial Y-doped HfO2 film 日本語訳:Y添加HfO2エピタキシャル薄膜の強誘電性の実証 |
著者 : | Takao Shimizu, Kiliha Katayama, Takanori Kiguchi, Akihiro Akama, Toyohiko J Konno, Osami Sakata, and Hiroshi Funakubo |
DOI : | 10.1038/srep32931 |
特記事項
今回の研究は、文部科学省元素戦略プロジェクト<研究拠点形成型>電子材料領域「東工大元素戦略拠点」、日本学術振興会の科学研究費、文部科学省の科学研究費、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業(東北大学 微細構造解析プラットフォーム)の一環として行われた。また構造解析は物質・材料研究機構のSPring8のビームラインで行われた。
お問い合わせ先
研究に関すること: 全般
東京工業大学 元素戦略研究センター
特任助教 清水荘雄
Email : shimizu.t.aa@m.titech.ac.jp
Tel / Fax : 045-924-5446
東京工業大学 物質理工学院/元素戦略研究センター
教授 舟窪浩
Email : funakubo.h.aa@m.titech.ac.jp
Tel / Fax : 045-924-5446
測定に関すること
物質・材料研究機構 技術開発・共用部門
高輝度放射光ステーション
ステーション長 坂田修身
Email : SAKATA.Osami@nims.go.jp
Tel / Fax : 0791-58-1970
東北大学 金属材料研究所
教授 今野豊彦
Email : tjkonno@imr.tohoku.ac.jp
Tel : 022-215-2125 / Fax : 022-215-2126
東北大学 金属材料研究所
准教授 木口賢紀
Email : tkiguchi@imr.tohoku.ac.jp
Tel : 022-215-2128 / Fax : 022-215-2126